超純水設備用于制備超純水，具體的原理和步驟大體如下：

1、原水：可以用日常自來水或普通的蒸餾水或普通的去離子水作原水。

2、預處理體系：原水箱、原水泵、殺菌劑、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑體系。

3、雙級反滲透體系：保安過濾器、高壓泵RO、反滲透系統。反滲透膜可濾除95%以上的電解質和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。鑒于絕大部分離子的去除，使離子交換柱使用年限大大的延長了。

4、EDI體系：EDI的作用是通過除去電解質（包括弱電解質）的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

5、拋光混床：無化學析出的核子級樹脂，祛除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質，使水質達到18MΩ·cm以上。

6、終端超濾：可以有效地祛除水里的微粒、膠體、細菌、熱源和有機物力。是整套體系最后的防火墻，保障生產出來的高純水不受二次污染。